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首臺(tái)國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機(jī)“羲之”出爐：和EUV光刻機(jī)有何區(qū)別
此前此類設(shè)備受國際出口管制，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、之江實(shí)驗(yàn)室等國內(nèi)頂尖科研機(jī)構(gòu)長(zhǎng)期無法采購，“羲之”的落地有望打破這一困局。
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